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台阶仪

设备名称:台阶仪(Profile-system)
设备型号:Dektak XT
设备厂商:美国Bruke
设备介绍:

    基本原理:台阶仪是一种将曲率半径很小的探针和样品表面进行接触,移动探针,测量接触力量的变化,调整探针的高度,从而得到样品的表面形貌。通过该测试,可以得到探针移动路径上样品的表面起伏数据,从而分析出样品的表面粗糙度、翘曲程度等信息。

主要特点: 
   ● 扫描长度: 50µm-55mm  
   ● 垂直测量范围: 1mm 
   ● 台阶高度重现性5Å, 1σ 在1µm台阶上 
   ● 垂直分辨率:最大6.5µm范围) 
   ● 探针压力:1-15mg 最小可达0.03mg 
   ● 探针曲率半径:0.2 um ,2um  
   ● 样品台尺寸:4英寸,6英寸,8英寸 

应用领域:

设备广泛应用于:触摸屏、半导体、太阳能、超高亮度发光二极管(LED)、医学、材料科学、高校、研究所、微电子、金属等行业实现纳米级表面形貌测量
   ● 台阶轮廓扫描
   ● 表面粗糙度扫描
   ● 样品翘曲度测量


                                        

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