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芯片设备

Chip equipment

合金炉

设备名称:合金炉

设备厂商:金立盾


工作原理:将材料快速加热到一定温度并维持长时间高温

用途:长时间的合金工艺,如ITO合金工艺以及p-GaN激活工艺等。



技术指标:

工作温度: 200-1000℃可调,控温精度1℃

恒温区长度:600mm

3. 单点温度稳定性、重复性:±1℃/24h

4. 斜变能力:升温速率15℃/min,降温速率:5℃/min

5.反应气氛;N2、O2