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芯片设备

Chip equipment

电阻蒸发台

设备名称:电阻蒸发台

设备厂商:北京泰科诺

工作原理:将蒸发材料加热到蒸发或升华温度,蒸发出来的原子沉积在基片表面,形成致密的薄膜。

用途:蒸发有机物/熔点低的金属薄膜/厚度较大的金属薄膜


技术指标:

1. 样品尺寸:6英寸及以下

2. 真空极限:优于2.0*10-4Pa

3.两组蒸发源,可顺序蒸发两种材料