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微纳加工技术服务

     广东省半导体产业技术研究院微纳加工平台,拥有半导体器件制备工艺研发所需的整套仪器设备,建立了一条实验室研发线和一条中试线,加工尺寸覆盖2-6英寸。主要进行氮化物半导体器件的制备与工艺研究。微纳加工平台还向国内外科研机构和企业提供全方位的开放服务。我们将对氮化物半导体材料与器件的深入研发给予全方位支持,为广大科研单位和企业提供高品质服务。

     本平台制定了严格的实验室管理规范和设备使用规范,用高标准、严要求保障平台的稳定与安全运行;本平台制定了标准化的服务流程,快速响应客户需求,承诺在最短时间完成样品加工,并提供后续响应技术支持。立足行业,回馈社会,本平台将秉承“专业、稳定、高效、合作共赢”的理念,竭诚为您服务:

    专业:专业人才队伍,高水平微纳加工

    稳定:高稳定性、可重复性微纳加工

    高效:加工周期短,分步工艺3个工作日完成,流片工艺5个工作日完成(常规流片工艺)

    合作:可与客户共同开发新型工艺和器件