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微纳加工平台

       微纳加工平台面向广东社会经济发展需求,致力于打造前沿性、支撑性、开放性的微纳加工领域创新实验室。

       平台拥有半导体制备工艺所需的整套仪器设备,建立了一条实验研发线和一条中试线,加工尺寸覆盖2-6英寸(部分8英寸),同时形成了一支与硬件设备有机结合的专业人才队伍。

       平台主要功能是提供微纳加工领域的技术创新和公共服务,可支撑半导体光电子器件、功率电子器件、MEMS、以及生物传感器等芯片制备以及技术验证。

       平台对国内外高校、科研院所以及企业提供开放共享,可为技术咨询、创新研发、技术验证以及产品中试提供全方位的支持,欢迎来信来电洽谈合作。